本報記者 李昱丞 見習記者 解世豪

11月25日，華特氣體發布公告，稱其向不特定對象發行可轉債申請獲得上交所審議通過。此次擬募資總額不超6.46億元，其中3.83億元用于年產1764噸半導體材料建設項目，7300萬元用于研發中心建設項目，其余1.9億元用于補充流動資金。

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“我國是全球半導體消費大國，半導體行業景氣度持續走高，但國內半導體用電子氣體市場一直被國際巨頭壟斷，為我國半導體供應鏈的健康發展帶來了不確定性。華特氣體募投項目中的產品應用于半導體生產的關鍵環節，該項目的實施有助于提升公司產能，擴大公司經營規模，從而帶動本土企業積極參與國際競爭，推動國產替代的發展進程。”深度科技研究院院長張孝榮向《證券日報》記者表示。

募資加碼半導體用特種氣體

華特氣體主營業務以特種氣體的研發、生產及銷售為核心，輔以普通工業氣體、氣體設備與工程業務，打造一站式服務能力，能夠面向全球市場提供氣體應用綜合解決方案。

據悉，在半導體材料中，電子特種氣體幾乎滲透到集成電路生產的每個環節，對集成電路的性能、集成度和成品率都有重大影響，被稱為半導體制造的“糧食”。

此次募投項目中的1764噸半導體材料建設項目實施主體為華特氣體全資子公司江西華特電子化學品有限公司，建設地位于江西省九江市永修縣經濟開發區星火工業園，預計建設期為2年，項目總投資4.66億元，建成后將生產高純一氧化碳、高純一氧化氮、六氟丙烷及異構體、溴化氫、三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共1764噸。

華特氣體表示，募投項目產品均為電子特種氣體，廣泛應用于半導體生產的蝕刻、摻雜、沉積等工藝。其中，高純一氧化碳、高純一氧化氮、超高純氫氣及超純稀有氣體系公司原有的優勢產品，近年來下游需求不斷增長，目前公司產能出現瓶頸，亟須擴產。

而高純六氟丙烷、電子級溴化氫和電子級三氯化硼為公司規劃的新產品，相關產品均著眼于下游半導體等應用領域的未來發展趨勢，結合下游客戶的需求所布局，相關產品均具備較大的未來市場空間和國產化替代空間。

事實上，華特氣體擴產電子特種氣體的動作不止于此。公司還曾于9月26日晚發布公告表示，擬與江蘇省如東沿海經濟開發區管理委員會簽訂項目建設協議書。公司擬于江蘇省如東沿海經濟開發區建設生產基地，項目總投資5億元。建成后可生產2000噸/年高純氟碳氣體、1000噸/年高純二氧化碳和1000噸/年高純氧化亞氮等電子氣體。

加速實現國產替代

根據Linx數據，半導體所消費的特種氣體占全部電子特種氣體的73.1%，顯示面板為19.4%，化合物半導體及LED為4.4%，光伏為3.1%。根據TECHCET數據，全球電子特種氣體的市場規模2021年進一步增長至45.38億美元，預計2025年全球市場規模突破60億美元，2021-2025年CAGR為7.3%。

不盡如人意的是，電子特種氣體地位重要且市場空間廣闊，但目前國內自主生產的電子特種氣體市場份額占比較小，還有較大的突破空間。華特氣體表示，長期以來，我國6N及6N以上的超高純氣體以及半導體前驅體材料主要依賴于國外進口，國內行業內企業亟待能夠打破國外壟斷、實現國產替代，形成自主可控的產業集群。

以華特氣體此次規劃的新產品電子級三氯化硼為例，電子級三氯化硼是用于半導體和集成電路領域的高純度三氯化硼，其純度需要達到99.99%以上。電子級三氯化硼主要應用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝，其雜質含量和純度直接影響半導體器件和集成電路的性能指標和良率，純度一般要求在5N以上，生產技術壁壘較高。

目前，全球電子級三氯化硼主要由日本宇部興產、日本昭和電工等國外氣體廠商壟斷，屬于被外資企業“卡脖子”的關鍵產品，對我國集成電路產業鏈的自主可控產生了較大威脅。

華特氣體相關負責人表示，“公司本次募投項目規劃電子級三氯化硼共300噸，主要目標是對目前我國集成電路等領域使用的電子級三氯化硼產品進行一定程度的國產替代。同時也有同行業其他公司在向這個目標努力。本次募投項目將進一步提高半導體材料國產化率，此外還能進一步完善公司產品布局，擴充公司氣體產品種類，為公司后續的業績貢獻新的利潤增長點。”

（編輯 袁元）

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