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本報記者 鄭馨悅

盛劍環(huán)境于10月19日晚間披露關于簽訂重大訂單的公告。盛劍環(huán)境（股票代碼：603324）全資子公司上海盛劍半導體科技有限公司與北方華創(chuàng)（股票代碼：002371）全資子公司北方華創(chuàng)微電子簽訂半導體工藝制程附屬設備Local Scrubber（簡稱“L/S”）采購訂單，合同總額1億元（含稅）。

Local Scrubber用于對制程過程中產生的含氟、氯、硅等元素為代表的成分復雜的有毒有害廢氣進行源頭處理，該設備一端與泛半導體工廠工藝設備相連，通過真空泵抽取工藝設備內產生的廢氣并進行分解；另一端與中央治理系統(tǒng)相連，將分解后的尾排氣體排至中央處理裝置并進行后續(xù)處理。Local Scrubber屬于半導體工藝制程設備的一部分，其對運行穩(wěn)定性及氣體處理效率要求高，能夠有力保障泛半導體客戶的產能利用率、產品良率、員工職業(yè)健康及生態(tài)環(huán)境，是泛半導體客戶生產工藝不可分割的組成部分。

盛劍環(huán)境此前在投資者關系活動記錄表中表示，目前公司Local Scrubber等制程附屬設備性能已達到國外同行水平，并且具備更好的性價比，特別是在交付能力、安裝調試及售后服務響應速度、本土化制造供應鏈支持方面有較為明顯的優(yōu)勢，滲透率仍有較大提升空間。隨著國內泛半導體行業(yè)的高景氣度發(fā)展，特別是在國產替代和供應鏈安全的大趨勢下，盛劍環(huán)境作為本土制程附屬設備供應商面臨難得的歷史機遇和發(fā)展空間。

（編輯 張鈺鵬 才山丹）

關鍵詞： 附屬設備